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DAD321
DAD3350
DFD6361
LAD7100 12寸全自动划片机

LAD7100 12寸全自动划片机

该机型实现了晶圆从装片、对准、切割、清洗到卸片的自动化操作。该机型配置了大功率对向式双主轴,Z1和Z2轴上都配置了NCS和专用显微镜,大幅度减少对准和检查时间,从而降低人工成本、提高生产效率。

特点:
√ 标配非接触测高功能(NCS)
√ 标配刀痕检测功能
√ 选配刀片破损检测功能(BBD)
√ 选配工件形状检测功能
√ 选配数据扫描录入功能

技术参数:

配置与性能

加工尺寸

mm

φ12"∣□275

切槽深度

mm

≤4mm或定制

主轴

转速范围

min1

6000~60000

额定输出功率

KW

直流1.8KW

X轴

有效行程

mm

310

速度设定范围

mm/s

0.1~1000

Y轴

有效行程

mm

310

运动分辨率

mm

0.0001

单一定位精度

mm

≤0.002/5

全程定位精度

mm

0.003/310

Z轴

有效行程

mm

40

最大适用刀片

mm

φ58

行程分辨率

mm

0.00005

重复定位精度

mm

0.001

θ轴

转角范围

deg

380

基础规格

电源

kVA

7.0(三相,AC380V)

耗电量(参考值)

kw

 7

压缩空气

Mpa
L/min

0.5~0.6
最大消耗量550

切削水

Mpa
L/min

0.2﹣0.3
最大消耗量9.0

冷却水

Mpa
L/min

0.2﹣0.3
最大消耗量3.0

排风量

8m3/min

800

尺寸W*D*H

mm

1200*1550*1800

重量

kg

2000Kg

主要产品:划片机 | 划片刀 | DAD321 | DAD3350 | DFD6361
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