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LAC200 晶圆清洗机

LAC200 晶圆清洗机

LAC200是一款8寸晶圆清洗机,兼容8寸及以下尺寸产品的清洗。采用水气二流体系统产生高压喷雾,冲洗产品表面和切割道,搭配半自动划片机使用,负责划切后产品的冲洗干燥工艺。

特点
1.水气二流体清洗
2.8种清洗程序
3.操作简便
4.适用于250× 250 mm以下的加工物

技术参数

最大加工物尺寸

Φ200/250mm

清洗方式

水气二流体清洗

可存储的清洗程序个数

8个

工作台转速范围

100-3000min-1

电源

两相AC200-240V ±10%

耗电量

清洗时800W 待机时110W

最大耗电量

2.6KVA

压缩空气供给压力

0.5±0.01MPa

压缩空气最大消耗量

220L/min(ANR)

清洁空气供给压力

0.5±0.01MPa

清洁空气最大消耗量

水气二流体清洗规格 98L/min(ANR)

清洗水供给压力

0.2 ~ 0.4 MPa 波动范围±0.01MPa

清洗水流量设定范围

二流体清洗规格40 - 300mL/min

排气管排气容量

3m2/min

设备主体尺寸(W x D x H)

410 x 630 x 1,420mm

(突起物、三色灯360mm 除外)

设备重量

约130kg

主要产品:划片机 | 划片刀 | DAD321 | DAD3350 | DFD6361
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